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重庆实验室家具-实验室对供气管路的要求

2016年06月23日

(1)供气系统的所有部件采用316L不锈钢或其他性能更优异的材料,以抗化学活性或腐蚀性气体侵蚀。

(2)减压阀采用金属膜片,以防杂质扩散。

(3)采用惰性气体保护的钎焊链接,无氧化,焊接头平滑,以减少粒子积聚和产生的场所。焊接工作在100级洁净室内进行。全金属结构,不可用合成橡胶材料,不用机械连接,可用VCR接头。VCR连接件密封性能好,拆装方便。

(4)对于活性气体的供气系统应专用。

(5)尽可能简化,将连接件、弯头的数目和流向的变化减至最小。

(6)在100级洁净室中建造供气系统和部件。

(7)供气系统管线弯头半径与管直径之比最小应为8:1,以防粒子产生和电化学抛光表面的变形。系统以过滤氮气连续吹扫、加压,以防重新引入大气粒子源.系统组装完并准备交付用户时,应采用高纯氮气吹扫,以使氧含量低于100。系统用氦质谱仪检漏,允许泄漏速率为1.0*10Pa。

来源:重庆思诚实验室设备有限公司
重庆思诚实验室设备有限公司
陈伟红
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